Детекторы для получения изображения:
- SE- на вторичных электронах;
- QBSD-детектор на обратнорассеяных электронах.
Катоды:
- W
- LaB6 с более высокой плотностью тока
Пространственное разрешение:
- 3 нм (2 нм) при 30 кВ в режиме SE с использованием W (LaB6) катода
- 4.5 нм при 30 кВ – BSD (в режиме VP)
- 15 нм при 30 кВ – 1 нА, LaB6-катод
- 20 нм (15 нм) при 1 кВ в режиме SE с использованием W (LaB6) катода
- 10 нм при 3 кВ в SE-режиме
Низковакуумный режим (XVP) позволяет исследовать не проводящие образцы, а также биологические объекты.
Диапазон ускоряющих напряжений: 0.2 – 30 кВ
Диапазон вакуума: 10 – 400 Па
Диапазон увеличений: 5 – 1 000 000-x
Рабочая камера:
- диаметр 310 мм;
- высота 220 мм;
Элементный анализ (с возможностью совместного детектирования):
- EDS спектрометр (от бора до урана) - до 0.1 % ат.
- WDS спектрометр - до 0.01 % ат.
