Конференции, проводимые по тематике КФТИ КазНЦ РАН

13 – 16 ноября 2023 / Вторая объединённая конференция «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике» (КЭЛТ-23)

МО, г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна д.6 (ИПТМ РАН). Сайт конференции: https://cebt23.iptm.ru/

Стоимость участия: бесплатно.

Ключевые даты:

10 мая — начало регистрации и приёма тезисов.

20 августа — окончание приёма тезисов доклада

Тематика конференции (секции):

1. Диагностика полупроводниковых материалов и структур
2. Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ
3. Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография
4. Электронно- лучевая и ионная литографии
5. Электронно- лучевые технологии в микроэлектронике
6. Рентгеновская кристаллооптика
7. Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона
8. Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур
9. Рентгеновская микроскопия и томография
10. Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении

Условия участия:

Для участия необходимо зарегистрироваться и прислать тезисы объёмом 1 - 3 стр. в соответствии с шаблоном.

Стоимость участия: бесплатно.

Ключевые даты:

10 мая — начало регистрации и приёма тезисов.

20 августа — окончание приёма тезисов доклада

13-16 ноября — работа конференции.

По итогам конференции будет выпущен сборник тезисов

Контакты Оргкомитета:

E-mail: cebt23@iptm.ru

Казьмирук Лидия Александровна
Тел: +7 (496-52) 44219

Осипова Галина Юрьевна
Тел: +7 (496-52) 44253

Регистрация и загрузка тезисов

Официальный сайт мероприятия

Шаблон тезисов доклада